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第七百二十四章 调试测验（第1页）

光刻机需要工作在超高无尘环境下，刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。刘焱换了一身白色防尘服，戴上防尘帽，通过风淋间进入无尘车间。

此时是上午十点左右，处于每天的早班时间，晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作，数千名工人，正在生产线上，有条不紊的工作。走过生产区域，进入测试区域，以姜安平为首的几十名研究人员，正围在一台一人多高的设备，做最后的调试，旁边还有几名维创电子公司的高管站在那里围观。

刘焱凑上前去，朝研发二部部长乌光辉问道：

“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机吗？什么时候能开始光刻测试？”

听到有人提问，阳威力、金小雅等人同时转头看过来，见是老板刘焱，纷纷打招呼问好，乌光辉出声给刘焱解释道：

“对，就是这台机器，昨天组装完成之后，第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间，经过一天一夜的安装调试，现在已经差不多可以开始了。”

刘焱满意的点点头，围着光刻机转了一圈，这台设备为全封闭结构，就像一个四四方方的铁皮文件柜，外壳喷涂成了乳白色，左右两侧，设置有硅晶圆入口和出口，靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。

刘焱有些疑惑的问道：

“看外表，我们这台光刻机似乎和J能、N康的光刻机都不太一样，这是对外壳进行了优化吗？”

乌光辉摇摇头之后说道：

“我们不光优化了外壳，同时也优化了部分内部结构。

老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗，姜教授他们研发一微米光刻机的时候，参考了0.5微米光刻机的内部结构，对设计图进行了一些更改优化。

从理论上来说，这些优化对晶圆的加工速度和加工精度，应该都有所提升，实际情况如何，还需要测试过后才知道。”

姜安平等人又忙活了半个多小时，光刻机终于调试完成，将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。阳威力通过对讲机沟通，让一位名为柏巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆。

姜安平亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。

光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。

见状，刘焱出声询问道：

“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line，还是248nm的KrF准分子激光作为光源？”

乌光辉回答道：

“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。

准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发部已经立项开始研发，但这种技术在世界范围内，也是最前沿研发项目，开发难度非常高，不是短期内能攻克的。”

这台新研制的光刻机的加工速度还是很快的，即使是初次测试，柏巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内，全部完成了光刻加工。

这些光滑如镜的硅晶圆上，多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版，是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版，其复杂程度和尺寸大小，是晶圆工厂出产的所有芯片之最。

按照原本的计划，第一次光刻测试，应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标，这样一来，就可以从易到难，逐步查漏补缺，将光刻机修改完善。但姜安平和几个主要研发人员，对光刻机测试样机非常有信心，直接上了最大难度，也是需求量最大的ARM1芯片。

维创电子公司推出的第二代游戏掌机上市之后，立刻受到电玩爱好者的热捧，仅仅上市半个多月，就售出了300万台。随机配送的和两款游戏，在画面、音效、游戏可玩性上，碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销，作为主控芯片的ARM1需求量大增，可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间，提升速度非常缓慢。

经过蒙小刚、姜安平，几个相关领域的专家研究分析，认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。

姜安平亲自动手，使用专用夹具，将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器，拿去芯片生产线那边，去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

两个多小时之后，所有工序走完，几十片硅晶圆，变成了一千多枚封装完成的ARM1芯片。刘焱、乌光辉、姜安平等高管和研发人员，开始动手对这批芯片进行全面测试。

半小时后，所有芯片测试完成，姜安平对测试结果进行了汇总，最后宣布道：

“此次我们自主研发的一微米光刻机测试，共选用了35片硅晶圆，加工过后，切割封装成1750枚芯片。

经过全面测试，合格产品共1203枚，合格率为68.7%。

也就是说，咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机，第一次开机测试生产，就成功了，并且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台J能和N康光刻机的加工水平。”

听完姜安平的发言，刘焱带头鼓掌，其他维创电子告诉的高管和研发人员，以及其他负责封装测试的员工紧随其后，现场爆发出一阵热烈的掌声。

在场观摩的维创电子公司员工们都在七嘴八舌的讨论着：

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